中國計(jì)量測試學(xué)會推薦項(xiàng)目入選科協(xié)“十大工程難題”

其征集的多項(xiàng)計(jì)量測試領(lǐng)域成果引重視 兩項(xiàng)團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)實(shí)施

本報(bào)訊 （記者 史玉成）在中國計(jì)量測試學(xué)會迎來60華誕之際，5月18日，該學(xué)會召開重要信息發(fā)布會，宣布其推薦的“如何解決集成電路制造工藝中缺陷在線檢測難題”入選2020年中國科協(xié)“十大工程難題”，“大長徑比納米探針可控制備技術(shù)及應(yīng)用”入選“科創(chuàng)中國”電子信息技術(shù)領(lǐng)域十大先導(dǎo)技術(shù)榜單。由其制定的兩項(xiàng)重要團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)開始實(shí)施。

據(jù)中國計(jì)量測試學(xué)會秘書長馬愛文介紹，2018年以來，中國科協(xié)通過全國學(xué)（協(xié)）會開展了“重大科學(xué)問題和工程技術(shù)難題”征集、評選、發(fā)布活動。中國計(jì)量測試學(xué)會自2019年開始積極參與，兩年來共征集計(jì)量測試領(lǐng)域重大科學(xué)問題和工程技術(shù)難題49個(gè)，并擇優(yōu)推薦到中國科協(xié)。2020年，該學(xué)會推薦的由中國科學(xué)院微電子研究所提出的“如何解決集成電路制造工藝中缺陷在線檢測難題”入選2020年中國科協(xié)“十大工程難題”。

集成電路領(lǐng)域是國際科技競爭的主戰(zhàn)場和大國博弈的焦點(diǎn)。該文作者之一的中國科學(xué)院微電子研究所周維虎研究員表示，缺陷是制約20nm及以下制程芯片良率提升的關(guān)鍵，我國在缺陷在線檢測領(lǐng)域存在明顯短板。目前，對于集成電路缺陷檢測技術(shù)及設(shè)備，一方面現(xiàn)有的最先進(jìn)技術(shù)設(shè)備被少數(shù)發(fā)達(dá)國家壟斷，對我國技術(shù)封鎖；另一方面，世界范圍內(nèi)7nm及以內(nèi)節(jié)點(diǎn)的缺陷在線檢測技術(shù)仍未成熟，設(shè)備缺口仍然巨大，誰率先掌握了相應(yīng)關(guān)鍵技術(shù)，誰就掌握了未來主導(dǎo)權(quán)，這對我國來說既是機(jī)遇又是挑戰(zhàn)。因此，突破下一代節(jié)點(diǎn)集成電路制造缺陷在線檢測技術(shù)，不但可以打破有關(guān)國家技術(shù)封鎖，解決“卡脖子”難題，還將提升我國制造業(yè)整體水平，為交叉領(lǐng)域科技發(fā)展產(chǎn)生重大影響力和引領(lǐng)推動作用，同時(shí)帶來巨大經(jīng)濟(jì)效益和國際影響，占領(lǐng)國際競爭制高點(diǎn)。

2020年5月，中國科協(xié)打造的“科創(chuàng)中國”平臺上線。同時(shí)，在全國開展了“科創(chuàng)中國”先導(dǎo)技術(shù)榜單征集活動。中國計(jì)量測試學(xué)會共征集了7項(xiàng)計(jì)量測試領(lǐng)域的先導(dǎo)技術(shù)。經(jīng)專家評審，推薦5項(xiàng)科技成果到中國科協(xié)。西安交通大學(xué)研究的“大長徑比納米探針可控制備技術(shù)及應(yīng)用”入選“科創(chuàng)中國”電子信息技術(shù)領(lǐng)域十大先導(dǎo)技術(shù)榜單。據(jù)介紹，該項(xiàng)目所制備的納米探針具有剛度好、性能穩(wěn)定等優(yōu)勢，可以用于半導(dǎo)體芯片中的大深寬比結(jié)構(gòu)測量等，目前已經(jīng)在相關(guān)領(lǐng)域多家單位進(jìn)行了應(yīng)用。

發(fā)布會上，馬愛文還介紹了近期由中國計(jì)量測試學(xué)會制定的兩項(xiàng)重要的團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)——《眼鏡驗(yàn)光配鏡行業(yè)服務(wù)質(zhì)量規(guī)范》和《移動終端攝像系統(tǒng)光電性能和圖像質(zhì)量評測方法》的情況?！堆坨R驗(yàn)光配鏡行業(yè)服務(wù)質(zhì)量規(guī)范》規(guī)定了眼鏡驗(yàn)光、配鏡和零售經(jīng)營性業(yè)務(wù)應(yīng)當(dāng)具備的服務(wù)要求，有助于不斷提升眼鏡制配行業(yè)服務(wù)質(zhì)量?！兑苿咏K端攝像系統(tǒng)光電性能和圖像質(zhì)量評測方法》提出了影像實(shí)驗(yàn)室測試環(huán)境和使用方法的詳細(xì)規(guī)范，在涵蓋基礎(chǔ)測試和專業(yè)測試的基礎(chǔ)上，適當(dāng)增加了新的應(yīng)用方向的性能評估內(nèi)容，建立了一套完整、規(guī)范而實(shí)用的評價(jià)體系。據(jù)悉，運(yùn)營商及電商等銷售實(shí)體可使用該團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)作為移動終端產(chǎn)品攝像性能和質(zhì)量評估的依據(jù)。

《中國質(zhì)量報(bào)》